半导体专用温控设备打破国外垄断，销量提升带动业绩迅速增加。公司作为国内实现进口替代的半导体专用设备供应商，主要营业产品包括半导体专用温控设备（Chiller）、半导体专用工艺废气处理设备（LocalScrubber）和晶圆传片设备（Sorter），其中温控设备收入占比超60%。受益于半导体产业市场需求的持续增长和产品竞争优势，公司产品营销售卖数量持续增长，整体收入业绩稳步增长，2022-2024年公司收入/归母净利润CAGR为24.36%/29.54%。

  半导体专用温控设备市场集中度较高，公司产品市占率国内领先。半导体专用温控设备主要使用在于刻蚀制程。根据QYResearch，预计2031年全球半导体温控设备市场规模将达到12.3亿美元。公司温控设备主要使用在于先进

  制程产线，适配业内主流厂商的工艺设备。据测算，预计2023-2025年，中国半导体专用温控设备市场规模将达到13.27/16.01/16.99亿元。国内市场集中度较高，2018年至2022年国内CR6约90%，以ATS、SMC为代表，公司打破国外厂商垄断、22年温控设备国内市占率排名第一，24年国内市占率约39%。公司产品核心技术指标处于国内领先、国际领先水平，并向超低温方向研发新品。

  半导体专用工艺废气处理设备需求提升空间大，公司产品市占率稳步提升。半导体专用工艺废气处理设备主要使用在于薄膜沉积和刻蚀环节。根据QYResearch，预计2030年全球半导体废气处理设备市场规模达23.51亿美元。公司废气处理设备已批量化应用在晶圆制造产线，与主流厂商设备完成匹配验证。据测算，预计2023-2025年，中国半导体专用工艺废气处理设备市场规模将达到23.70/24.26/24.71亿元。国内市场集中度较高，2018年至2022年国内CR6约90%，以爱德华、戴思为代表，公司是半导体专用工艺废气处理设备领域内主要的国内厂商，市占率稳步提升、22年国内市占率上升至第四，24年国内市占率约13%。

  晶圆传片设备国产化率极低，公司产品本土优势显著。公司晶圆传片设备主要使用在于逻辑芯片90nm-28nm等各种工艺需求，目前主要是针对12英寸晶圆产线设计。根据QYResearch，预计2028年国内半导体晶圆传输设备市场规模达3.33亿美元，销量超3000台。晶圆传片设备国内市场本土厂商市场占有率占比极低，主要供应商包括京仪装备、瑞斯福公司、平田公司等。与境外竞争对手相比，公司产品性能好价格低，在技术服务、响应速度等方面拥有本土企业优势，率先实现晶圆传片设备的国产替代。

  盈利预测、估值分析和投资建议：公司是极少数实现Chiller/Scrubber设备国产替代量产出货的本土设备供应商。公司凭借领先的研发能力、可靠的产品质量和优秀的客户服务水平，产品逐步实现进口替代，并已大范围的使用在长江存储、中芯国际、华虹集团等国内主流集成电路制造产线年，单位现在有产品在中国的合计市场空间约达60亿元，国产替代趋势下公司市场占有率提升空间较大。公司24H1新签订单约10.5亿元，在手订单约22亿元，预测全年累计新增订单将达到16-19亿元。预计公司2025-2027年分别实现营业收入13.72/17.32/21.33亿元，归母净利润2.24/3.19/4.04亿元，对应EPS分别为1.34/1.90/2.40元，以6月12日收盘价52.71元计算，25-27年PE分别为39.48X/27.72X/21.94X。首次覆盖给予“增持-A”评级。

  风险提示：贸易摩擦与地理政治学矛盾风险、下业市场需求降低风险、市场之间的竞争风险、技术升级迭代的风险、客户集中的风险、首发限售解禁后股东减持风险。